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Cadence layout概念知识:版图图层和物理图层关系全解析

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不好好学习,总有一天是要还债的。
这就是我2年前胡乱交一通作业,而现在需要从头回顾。

1. Cadence的文件管理层次

2.Layout 版图

1.1 layout 界面图层说明

2.2 版图图层和物理图层之间的关系

我之前一直搞不懂,只是照葫芦画瓢 0 0
现在来还债

首先看下整体MOS管 子的物理模型

Nmos
  1. 没有颜色的黑色layout背景其实代表P型si衬底

因此,NMOS直接画在黑色的背景上,但是PMOS必须画一个nwell (n型阱)

旧版图层名字
新版图层名字

2.有源区(N+、P+和沟道)

N+图层—Active+nselect(选择性参杂)

P+图层—Active图层+pselect(选择性参杂)

其中n/p select包围有源区

新版图层名字=active
新版图层名字=nselect
新版图层名字=pselect

3.栅氧化层 在layout中不显示

4.多晶层 poly

Poly在栅氧区的上方,只有在有源区上方的Poly才是器件的栅极


5.介质层

N+上方的就是介质层,我们需要在介质层上面刻蚀接触孔(contact)

金属层通过contact和S,D,G连接才能形成S.D.G极

介质层是图中白的部分,layout中没有单独的图层。但是版图中定义了Contact图层

新版图层名字

6.金属层

与电源、地相接的线

7.沟道

沟道长L=Poly宽度(红色多晶)

沟道宽W=有源区(蓝色部分)的宽度


1.2注意点

  • Poly的长度一般超出有源区的长度(防止刨刻时出现漂移),但是也不能超太过(会引起版图面积过大)。
nmos
  • layout画图顺序和工艺顺序不一致,画完poly之后我们需要知道contact的位置。

注意contact和poly之间的距离

contact和active之间的距离

nmos
  • n/p select包围有源区

注意边缘与边缘之间的距离


  • 如果已经画好NMOS,可以复制一个MOS然后改图层属性为PMOS

别忘记PMOS有nwell包围!!!


  • 衬底接触
B衬底引线就是衬底接触孔,也就是电路图中连接VDD/VSS的接触点,需要连接金属线。


PMOS衬底接触孔(ND-C,NPLUSE.DIFFUSION.CONTACT)一般放在PMOS上方(接电源),为了后期布线时候可以直接通过电源线将衬底接触连接。

PMOS管的衬底接触在nwell之内!!!!!!!!!!!,注意边缘到边缘的距离。)


NMOS衬底接触孔(PD-C,PPLUSE.DIFFUSION.CONTACT)一般放在NMOS下方(接地)

衬底接触孔一般靠近晶体管的源端(这样走线较短,不会产生多余的电阻)

  • 多晶SI(POLY)相连接+孔(作电极)=栅极电源线的连接


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