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化学气相沉积（CVD）技术详解

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化学气相沉积（ CVD ）是一种热化学反应过程，是在特定的温度和经过特别处理的基体零件（包括硬质合金和工具钢材质）所进行的气态化学反应。

BernexCVD 工艺在二十世纪七十年代早期发展起来，并在涂层工艺、结构、和复合上持续不断的改进来满足市场的需求。

加工温度

一般的 CVD 加工处理温度： Bernex 高温涂层： 900 ℃ ~1050 ℃， Bernex MT CVD 中温涂层： 720 ℃ ~900 ℃。

适合 CVD 涂层的典型零件

最广泛应用到 CVD 涂层的零件包括硬质合金刀片，冲头，金属成型模具和挤压模具。这些零件同样适合于耐磨及侵蚀环境。然而，由于 CVD 工艺过程是一个高温过程，对于大多数的钢质零件，在 CVD 涂层后要进行再次热处理。

CVD 加工过程

典型的涂层类型

典型的涂层类型是 TiC,TiCN （高温和中温， TiN 和＆— Al 2 O 3, 和 K— Al 2 O 3 ）。涂层大多数总是以多层沉积，正如 TiC/TiN 或TiCN/ Al 2 O 3 或 TiCN/ Al 2 O 3 / TiN复合涂层，满足了特殊应用领域的需求，如铸铁的铣销或加工难加工材料。

涂层厚度范围是 5 ~12 um , 但在有些情况下 , 涂层厚度可达 20um , 工艺时间范围为 8~24 小时

CVD 工艺优点

·涂层的极端韧度
·高的装炉数量（但工艺时间长）
·反应器内零件无须旋转
·能对复杂的几何形状的零件和有内孔零件涂层
·涂层厚度高度均匀，无论是简单还是复杂的几何形状零件

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